真空热处理炉的真空热处理几乎可实现全部热处理工艺，如淬火、退火、回火、渗碳、氮化，在淬火工艺中可完成气淬、油淬、硝盐淬火、水淬等，还能够进行真空钎焊、烧结、外表处理等。真空热处理炉热效率高，可完成快速升温和降温，可完成无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件外表的磷屑，并有脱脂除气等效果，然后达到外表亮光净化的效果。一般来说，被处理的工件在炉内加热缓慢，内热温差较小，热应力小，因此变形小。产品合格率高。可降低成本，有除气效果，然后提高了作业的机械性能和使用寿命。作业环境好，操作安全，没有污染和公害。被处理的工件没有氢脆风险，对钛材和难熔金属壳防止外表氢脆，真空热处理工艺的稳定性和重复性好。这一系列的长处，开发真空热处理设备和工艺被越来越注重和应用越来越广。
真空热处理即真空技术与热处理两个专业相结合的归纳技术，是指热处理工艺的悉数和部分在真空状态下进行的。我国将真空划分为低、中、高和超高真空。目前大多数真空热处理炉的作业真空度在1.33~1.33×10ˉ³Pa。
真空热处理炉比较一般的热处理炉的长处解析:
1、真空炉对环境无污染，不需进行三废处理。
2、真空炉彻底消除了加热过程中工件外表的氧化、脱碳，可获得无蜕变层的清洁外表。这对于那些在刃磨时仅磨一面的刀具(如麻花钻磨削后使沟槽外表的脱碳层直接露出于刃口)切削性能的改善关系极大。
3、真空炉炉温测定、监控精度明显提高。热电偶的指示值与炉温温度达到±1.5°c。但炉内大批工件不同部位的温差较大，若采用稀薄气体强制循环，仍可控制在±5°c温差范围内。
4、机电一体化程度高。在温度测控精度提高的基础上，工件移动、气压调理、功率调理等均可预先编程设定，按步骤施行淬火和回火。
5、能耗显著低于盐浴炉。现代
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