真空感应化学气相沉积炉

真空感应化学气相沉积炉 

真空感应化学气相沉积炉是在真空或保护气氛下，利用中频感应原理将置于感应线圈内的石墨坩埚加热，也可电阻加热，石墨坩埚中放入被制备的碳-碳复合材料。在一定温度下将坩埚加热到规定温度，并通入稀释的碳氢气体。该气体中含碳活性基因分解后便沉积于材料表面。这样制备的复合材料，其耐磨性将大大增加。本设备适用于化学气相沉积法制备复合材料，也可做为硬质合金制品的烧结。碳--碳复合材料是一种炭纤维增强炭基体的先进复合材料，具有低密度、高比强、耐高温(3000℃)、 摩擦磨损性能优异等特点。早期，通过试验方法研制出的 碳--碳复合材料产品主要用于航空航天领域，如军用飞机制动盘、火箭发动机喷管、燃烧室、鼻锥等关键部件。目前，碳--碳复合材料因其优异的性能，广泛应用于现代交通、大型制造业、国家大型核能工程、现代国防建设、高温热防护、半导体工业、热压模具等领域。

碳--碳复合材料制备的关键技术是炭纤维预制体的致密化—CVI工艺。碳--碳复合材料化学气相沉积炉是CVI工艺的专用设备，是在一定的真空或惰性气氛条件下，利用感应或电阻发热的原理将炉内工件加热到一定温度后，通入碳源性气体，气体在高温下裂解后产生含碳物质，沉积于工件表面，达到组织增密的目的。

鉴于碳--碳复合材料广泛的应用领域和广阔的市场前景，我公司开发出了大型碳--碳复合材料化学气相沉积炉，主要用于大型碳--碳制品的化学气相沉积，也可进行全程真空炭化处理。

主要技术参数