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真空感应化学气相沉积炉

2020-09-09 15:14:59
真空感应化学气相沉积炉
详细介绍:

真空感应化学气相沉积炉 

真空感应化学气相沉积炉是在真空或保护气氛下,利用中频感应原理将置于感应线圈内的石墨坩埚加热,也可电阻加热,石墨坩埚中放入被制备的碳-碳复合材料。在一定温度下将坩埚加热到规定温度,并通入稀释的碳氢气体。该气体中含碳活性基因分解后便沉积于材料表面。这样制备的复合材料,其耐磨性将大大增加。本设备适用于化学气相沉积法制备复合材料,也可做为硬质合金制品的烧结。碳--碳复合材料是一种炭纤维增强炭基体的先进复合材料,具有低密度、高比强、耐高温(3000℃)、 摩擦磨损性能优异等特点。早期,通过试验方法研制出的 碳--碳复合材料产品主要用于航空航天领域,如军用飞机制动盘、火箭发动机喷管、燃烧室、鼻锥等关键部件。目前,碳--碳复合材料因其优异的性能,广泛应用于现代交通、大型制造业、国家大型核能工程、现代国防建设、高温热防护、半导体工业、热压模具等领域。

碳--碳复合材料制备的关键技术是炭纤维预制体的致密化—CVI工艺。碳--碳复合材料化学气相沉积炉是CVI工艺的专用设备,是在一定的真空或惰性气氛条件下,利用感应或电阻发热的原理将炉内工件加热到一定温度后,通入碳源性气体,气体在高温下裂解后产生含碳物质,沉积于工件表面,达到组织增密的目的。

鉴于碳--碳复合材料广泛的应用领域和广阔的市场前景,我公司开发出了大型碳--碳复合材料化学气相沉积炉,主要用于大型碳--碳制品的化学气相沉积,也可进行全程真空炭化处理。

真空感应化学气相沉积炉

主要技术参数

参数/型号

单位

ZGQC-100

ZGQC-160

ZGQC-160

坩埚有效容积

(直径×高)

mm

Φ340×700

Φ600×900

Φ650×1600

中频电源功率

Kw

100

160

160

中频电源频率

Hz

2500

2500

1000

最 高工作温度

1200

1200

1200

恒温区温差

±10

±10

±10

极限真空度

Pa

4

4

4

压升率

Pa/h

5

5

5


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